特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體，隨著國防工業、科學研究、自動化技術、精密檢測（特別是微電子技術）的發展，特種氣體成為工業氣體市場規模增長新動力，廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜、醫藥等新興行業。
特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學成分可分為：硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，以上分類存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時在化學氣相沉積(CVD)中也存在應用。
特種氣體主要包括電子氣體、醫療氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等，是下行業關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產業的“糧食”和“源”，現有單元特種氣體260余種，可配制成25000多種混合氣體。
特種氣體的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。可以根據客戶的不同需求和產品的不同特性，采取不同的工序進行組合。
電子特種氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場需求半導體材料，電子氣體2016年的國內市場需求為48.02億，占比14%。電子特種氣體中產品被國外壟斷，該領域主要生產廠家有美國氣體化工、美國普萊克斯、日本昭和電工、德國林德集團、法國液化空氣、日本酸素，合計*達85%。據全球半導體協會統計，目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣80多種。
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